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产品展示 > 美国MKS产品 > 气体流量\压力测量和控制器(仪)
 
上游压力控制阀和压力控制器
• 148J 金属密封压力控制阀, 满量程范围10 – 3000 SCCM
• 248A 橡胶密封压力控制阀, 满量程范围10 – 5000 SCCM
• 154A 大流量压力控制阀, 满量程范围20 – 200SLM
250E 气体压力/流量控制器。 其输入压力或流量信号, 通过 PID 闭环控制模块, 控制压力阀和 (或) 质量流量控制器.
 

 
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