πMFC 是新一代压力不敏感数字质量流量控制器。实时高精度流量控制是基于先进的数字算法技术， 能有效地避免因压力波动而造成的流量不稳。 πMFC 广泛地应用于诸如半导体和薄膜生产工艺等高精度、高纯度气体系统。 πMFC 集成压力传感器并显示压力等读数， 各种模拟和数字通讯口可选。
• πMFC 压力不敏感质量流量控制器
满量程范围从10 sccm – 50 slm
• πMFC 低压质量流量控制器
满量程范围从2 – 50 sccm。