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产品展示 > 美国MKS产品 > 气体流量\压力测量和控制器(仪)
 
MASS-FLO® 系列金属密封质量流量控制器
• 1479A/179A 质量流量控制器/质量流量监视器
其满量程范围从10 sccm – 20 slm,各种模拟和数字通讯口可选。
• M330B 低压质量流量控制器
其满量程范围从 5–100 sccm。
• M330H 高温型(150℃)质量流量控制器
其满量程范围从10sccm – 40 slm
 

 
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