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产品展示 > 美国MKS产品 > 气体流量\压力测量和控制器(仪)
 
MASS-FLO® 系列橡胶密封质量流量控制器
  • 1179A/2179A 质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器
    其满量程范围从10 sccm – 20 slm,模拟和数字通讯口可选。
  • M100B/M10MB 质量流量控制器/质量流量监视器
    其满量程范围从10 sccm–50 slm
  • 1559A/558A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器
    其满量程范围从20– 200 slm
  • 1579A/579A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器
    其满量程范围从50 – 300 slm
 

 
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