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产品展示 > 美国MKS产品 > 气体流量\压力测量和控制器(仪)
 
以压力为基础的流量控制器

·DELTA® II流量比例控制器
流量比例控制器随着DELTA 流量比例控制器的使用,优化工艺结果将变得容易。它可将混合的工艺气体按比例分为两路以提高均匀性等工艺参数。比例可
1:11:20
·Tru-Flo® 质量流量检测器
是一款紧凑型的诊断仪器。它在已知的腔体体积和温度的条件下,测量上升的压力来确定流量。

 

 

 


 

 

 

 
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