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产品展示 > 美国MKS产品 > 等离子体电源及反应气体发生器
 
反应气体发生器

ASTRON® 系列氟离子发生器:广泛应用于 CVD 工艺腔清洗,它具有功率大,效率高等特点。
产品有:
ASTRON®i - AX7670 (3 升)
 ASTRON®e - AX7680 (4 升)
•ASTRON®ex - AX7685 (6 升) 
ASTRON®hf - AX7645 (15 升)

 

 
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