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大连瑞闻科技有限公司
Rivin Technology Company Ltd
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地址：大连保税区泰华大厦A座520房间
邮编：116600 |
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| 产品展示 > 美国MKS产品 > 等离子体电源及反应气体发生器 |
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ASTeX® 等离子体电源 广泛应用于 CVD、 ETCH、去胶等晶圆工艺。
• R*evolution® - AX7690 集成远程等离子体源用于晶圆工艺
• AX2600 集成等离子体系统
• SmartPower® - AX2500 系列微波电源
• ASTeX® – AX3060 SmartMatch 微波匹配器
• ASTeX® – AX7610 下游等离子体源
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