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大连瑞闻科技有限公司
Rivin Technology Company Ltd
电话：0411-62789512
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地址：大连保税区泰华大厦A座520房间
邮编：116600 |
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| 产品展示 > 美国MKS产品 > 等离子体电源及反应气体发生器 |
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SEMOZON® 臭氧发生器及集成系统，LIQUOZON® 臭氧水循环系统：广泛应用于 CVD ，去胶和湿法清洗等工艺。
• O3MEGA® AX8561 臭氧发生器集成系统
• SEMOZON® AX8500 系列臭氧发生器集成系统
• SEMOZON® AX8400 系列臭氧发生器
• LIQUOZON® Smart 臭氧水递送系统：提供高浓度、大流量臭氧水
• LIQUOZON® Single 臭氧水递送系统：紧凑型设计，适合于单片硅片清洗系统
• LIQUOZON® LoopO3 臭氧水循环递送系统：紧凑型设计，带循环水泵，主要用于硅片清洗工艺
• LIQUOZON® 100 和 XF 臭氧水递送系统
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