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产品展示 > 美国MKS产品 > 等离子体电源及反应气体发生器
 
射频功率电源

ENI® 提供高可靠的固态电源
频率从 1MHz60MHz,功率从 3 百瓦至 13千瓦,还可选自动频率调谐,广泛地应用于 EtchCVDPVD等工艺。
• 中频射频功率电源 (1-4MHz)
NOVA® 系列:功率为 2.5 千瓦和 5千瓦,自动频率调谐可选。
Spectrum® 系列:功率从 5千瓦至 11千瓦,自动频率调谐可选。
• 高频射频功率电源 (13.56MHz)
ACG 系列风冷电源:功率从 3百瓦至 1 千瓦。
GHW 系列电源:功率从 1.5 千瓦至 5 千瓦,自动频率调谐可选。
Spectrum® 系列电源:功率从 1.5 千瓦至 10.5 千瓦,自动频率调谐可选。
SurePower® 系列电源:功率从 1.5 千瓦至 13 千瓦,自动频率调谐可选。
• 超高频射频功率电源 (27.12-60MHz)
GEW 系列电源:功率从 1.5 千瓦至 3千瓦,自动频率调谐可选。

 

 
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