ENI® 提供高可靠的固态电源
频率从 1MHz 到 60MHz，功率从 3 百瓦至 13千瓦，还可选自动频率调谐，广泛地应用于 Etch， CVD 和 PVD等工艺。
• 中频射频功率电源 (1-4MHz)
o NOVA® 系列：功率为 2.5 千瓦和 5千瓦，自动频率调谐可选。
o Spectrum® 系列：功率从 5千瓦至 11千瓦，自动频率调谐可选。
• 高频射频功率电源 (13.56MHz)
o ACG 系列风冷电源：功率从 3百瓦至 1 千瓦。
o GHW 系列电源：功率从 1.5 千瓦至 5 千瓦，自动频率调谐可选。
o Spectrum® 系列电源：功率从 1.5 千瓦至 10.5 千瓦，自动频率调谐可选。
o SurePower® 系列电源：功率从 1.5 千瓦至 13 千瓦，自动频率调谐可选。
• 超高频射频功率电源 (27.12-60MHz)
o GEW 系列电源：功率从 1.5 千瓦至 3千瓦，自动频率调谐可选。