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大连瑞闻科技有限公司
Rivin Technology Company Ltd
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| 产品展示 > 美国MKS产品 > 等离子体电源及反应气体发生器 |
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ENI® 直流/脉冲电源
主要应用于半导体，光电器件，磁盘，平板显示器等工业中的镀膜工艺。
• Optima® 系列直流电源：功率从 5千瓦至 60 千瓦。
• RPG 系列脉冲电源：功率从 5 千瓦至 10 千瓦，频率从 50 至 250KHz ， 占空比从 0 至 40% 。
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