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薄膜沉积系统
薄膜沉积是目前最流行的表面处理法之一,广泛应用于光学材料、半导体组件、装饰品、餐具、刀具、工具、模具等的表面处理,泛指在各种金属材料、超硬合金、陶瓷材料及晶圆基板的表面上,成长一层同质或异质材料薄膜的工艺,以期获得美观耐磨、耐热、耐蚀等特性。
薄膜沉积工艺及设备主要在以下领域有广泛运用:
• 表面装饰 (汽车、水龙头、吊灯、珠宝等)
• 显示科技(LED 器件、半导体激光器等)
• 能源储存(太阳能、燃料电池及能量滤波器)
• 医学及生物医学(移植、仪器)
• 光学材料
• 物理材料研究
• 半导体(硅晶片)
• 传感器科技(汽车、航空业、生物科技)
• 超导体(电力传输、磁力飘浮)
• 耐磨涂层(引擎、涡轮机、工具等)

 

 
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