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F30系列：在线监控仪器

F30系列：在线监控仪器
　　F30：可在金属有机化学气相沉积系统、阴极溅镀和其他沉积工艺中监控
　　　　　反射率、厚度和沉积率。
　　F37：联机薄膜测量仪器，最多能支持七个探头位置。

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