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产品展示 > FILMETRICS薄膜测量系统 > F50/F60系列:空白晶圆薄膜厚度的自动测绘仪
 
F50/F60:空白晶圆薄膜厚度的自动测绘仪

F50系列:在F20 系列基础上增添了自动测绘能力,能以每秒钟 2 个点的速度测绘厚度和折射率。
F50-XY-450系列用于测绘直径大于 300mm 的晶圆。 
F60-t系列:能满足生产环境的台式测绘,包括自动基准确定、凹槽定位、全封闭测量平台以及其它装置。

 

 
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