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产品展示 > FILMETRICS薄膜测量系统 > F80系列:产品晶圆薄膜厚度的自动测绘仪
 
F80:产品晶圆薄膜厚度的自动测绘仪

F80系列:图案化半导体的自动测绘
F80-t系列:能满
足生产环境的产品晶圆台式测绘系统,21 秒内能测量 15 个点。
F80-c系列:F80-t 的基础上加入晶圆自动传输,能够测量大到 300mm 的晶圆。  

F80-a 系列:配备晶圆分类输送的自动测绘系统,支持大到 300mm 的晶圆。

 

 
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