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大连瑞闻科技有限公司 Rivin Technology Company Ltd 电话:0411-62789512 0411-62789510 传真:0411-62789510 E-mail:xj_cui@dlrivin.com 地址:大连保税区泰华大厦A座520房间 邮编:116600 |
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产品展示 > Kosaka精密仪器 > 台阶仪系列 |
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是一款性价比很高的接触式台阶仪,主要性能指标如下: 1、测定工件要求 最大尺寸:Ф160mm 最大厚度:50mm 最大重量:2kg 2、检测器 (1)Z方向测定范围:Max. 600μm (2)Z方向分解能力:0.1nm (3)测定力:min.1mgf, max.50mgf (4)触针半径:2 μm (5)驱动方式:直动式 (6)再现性:1σ = 1nm 3、X轴(基准轴) (1)移动量(最大测长):100mm (2)移动的真直度:0.2μm/100mm (3)移动、测定速度:0.02 ~ 10mm/s (4)线性度:分解能力0.1μm 4、Z轴 (1)移动量:50mm (2)移动速度:max.2mm/S (3)检测器自动停止功能 (4)分解能力:0.2μm 5、工件台 (1)工件台尺寸:Ф160mm (2)机械手动倾斜量:±1mm/150mm 6、工件观察:max.110倍(可选购其它高倍率CCD) 7、床台:材质为花岗岩石 8、防振台(选购):落地型或桌上型 9、电源:AC100V±10%,50/60HZ, 300VA 10、外观尺寸及重量:W494×D458×H610mm, 120kg(不含防振台)
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