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产品展示 > Kosaka精密仪器 > 台阶仪系列
 
ET-200型

是一款性价比很高的接触式台阶仪,主要性能指标如下:
1、测定工件要求
最大尺寸:Ф160mm
最大厚度:50mm
最大重量:2kg
2、检测器 
(1)Z方向测定范围:Max. 600μm
(2)Z方向分解能力:0.1nm
(3)测定力:min.1mgf, max.50mgf
(4)触针半径:2 μm
(5)驱动方式:直动式
(6)再现性:1σ = 1nm
3、X轴(基准轴)
(1)移动量(最大测长):100mm
(2)移动的真直度:0.2μm/100mm
(3)移动、测定速度:0.02 ~ 10mm/s
(4)线性度:分解能力0.1μm
4、Z轴 
(1)移动量:50mm
(2)移动速度:max.2mm/S
(3)检测器自动停止功能
(4)分解能力:0.2μm
5、工件台
(1)工件台尺寸:Ф160mm
(2)机械手动倾斜量:±1mm/150mm
6、工件观察:max.110倍(可选购其它高倍率CCD)
7、床台:材质为花岗岩石
8、防振台(选购):落地型或桌上型
9、电源:AC100V±10%,50/60HZ, 300VA
10、外观尺寸及重量:W494×D458×H610mm, 120kg(不含防振台)

 

 
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