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大连瑞闻科技有限公司
Rivin Technology Company Ltd
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| 产品展示 > Kosaka精密仪器 > 台阶仪系列 |
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1、ET－4000系列具有以下显著优点：
（1）高精确性、稳定性和重复性；
（2）最适合用于自动测量FPD、晶片、磁盘，和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度。
2、测定工件要求
最大尺寸：210×210mm~300×400mm
倾斜度：±1mm/150mm
最大重量：2kg
3、检测器
（1）测定范围：100μm
（2）传感器：位移传感器
（3）测定力：0.5uN~500uN(0.05mgf~50mgf)
（4）触针半径：2 μm
（5）再现性：1σ 0.5nm
4、X轴(基准轴)
（1）移动量(最大测长)：100mm
（2）移动的真直度：0.005μm/5mm(0.1um/100mm)
（3）移动、测定速度：0.005 ~ 2mm/s
（4）重现性：±5μm
5、Y轴
（1）移动量：150~400mm
（2）移动的真直度：5μm/150mm
（3）重现性：±5μm
6、Z轴
移动量：52mm
7、放大倍数
垂直：50~2000000,水平：1~10000
8、监测系统
照相机：1/2inch CCD(768×494 pixels)，并配套数据采集卡
9、床台：材质为花岗岩石
10、防振台(选购)：落地型或桌上型
11、电源：AC100V±10%，50/60HZ, 800VA
10、外观尺寸及重量：W660×D580×H660mm, 200kg(不含防振台)，不同型号尺寸和重量会有差异
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